半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：
1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。
半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：
1.可燃、助燃、易然易暴气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
气体报警器在不同行业探测不同气体
1、污水（泥）处理厂
污水处理厂、污泥处理厂通过安装气体检测报警器检测硫化氢(H2S)、氨气(NH3)、氯i气（CL2）、可燃气体(CH4)的浓度
2，垃圾中转站（场）
主要检测臭味，氨气，硫化氢，甲烷，氧气等气体
3、自来水厂
自来水厂需检测氯i气(CL2)、二氧化氯(CLO2)的气体浓度。
4、喷漆房
油漆厂(车间、仓库)检测可燃气体(苯、甲i苯、二甲i苯等)的气体浓度。喷涂厂、烤漆房检测可燃气体(苯、甲i苯、二甲i苯等挥发气体)，一般采用高温型可燃气体探测器。
5、化工企业
化工行业大量使用、存放各种化工原料，其包含多种有毒有害及可燃气体。因此，化工行业各个生产环节都需要安装可燃有毒气体检测报警器。
监测站房内应配备标准气体和工作气源，且在有效期内。标准气体应包含零气和 NMHC-CEMS的量程标气。零气可使用氮气或洁净空气，其中碳氢化合物含量不超过0.3mg/m3。标准气体不确定度不超过±2.0%，较低浓度的标准气体可以使用高浓度的标准气体采用等比例稀释方法获得，等比例稀释装置的精密度在1%以内。工作气源纯度应满足分析仪器使用要求，氢气纯度至少达到99.99%。
在线客服
15055771795
354542218@qq.com
